مستشعر درجة الحرارة والرطوبة لنظام التحكم في درجة حرارة الغرفة النظيفة بأشباه الموصلات
عرض المنتج
درجة الحرارةويتم تحديد رطوبة المساحة النظيفة بشكل أساسي وفقًا لمتطلبات العملية ، ولكن بشرط تلبية متطلبات العملية ، يجب مراعاة الشعور بالراحة.مع تحسين متطلبات نظافة الهواء ، كان هناك اتجاه لمزيد من المتطلبات الصارمة لدرجة الحرارة والرطوبة.
نظرًا لأن دقة المعالجة أصبحت جيدة أكثر فأكثر ، فإن نطاق تقلب درجة الحرارة أقل وأقل.على سبيل المثال ، في عملية التعرض الليثوغرافي لإنتاج الدوائر المتكاملة على نطاق واسع ، يجب أن يكون الفرق في معامل التمدد الحراري بين الزجاج ورقاقة السيليكون كمادة القناع أصغر وأصغر.قطر 100 ميكرون رقاقة سيليكون ، ارتفاع درجة الحرارة 1 درجة ، سوف يتسبب في تمدد خطي 0.24um ، لذلك يجب أن تكون درجة حرارة ± 0.1 درجة ، في نفس الوقت تكون قيمة الرطوبة منخفضة بشكل عام ، لأن الناس يتعرقون ، المنتج سيكون له تلوث ، خائفًا بشكل خاص من ورشة أشباه موصلات الصوديوم ، يجب ألا تتجاوز هذه الورشة 25 درجة.
الرطوبة العالية تسبب المزيد من المشاكل.عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 55٪ ، يتشكل ندى على جدار أنبوب مياه التبريد ، مما يتسبب في وقوع حوادث مختلفة إذا حدث في أجهزة أو دوائر دقيقة.عندما تكون الرطوبة النسبية 50٪ ، فمن السهل أن تصدأ.بالإضافة إلى ذلك ، عندما تكون الرطوبة عالية جدًا ، سيتم امتصاص الغبار العالق على سطح رقاقة السيليكون كيميائيًا على السطح لمقاومة الإزالة.كلما زادت الرطوبة النسبية ، يصعب إزالة الالتصاق ، ولكن عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30٪ ، يسهل امتصاص الجسيمات على السطح بسبب تأثير القوة الكهروستاتيكية ، كما أن عددًا كبيرًا من أجهزة أشباه الموصلات عرضة للانهيار.نطاق درجة الحرارة المثلى لإنتاج بسكويت الويفر هو 35-45٪.
لذلك ، يعد التحكم في درجة الحرارة والرطوبة أمرًا مهمًا بشكل خاص ، ويمكن أن توفر لك HENGKO سلسلة منحلول معالجة مخصصة لجهاز إرسال درجة الحرارة والرطوبة!
مستشعر درجة الحرارة والرطوبة لنظام التحكم في درجة حرارة الغرفة النظيفة بأشباه الموصلات
لا يمكنك العثور على منتج يلبي احتياجاتك؟اتصل بفريق المبيعات لدينا للحصول علىخدمات التخصيص OEM / ODM! 
