HENGKO حجر ناشر للغرفة المعدنية المسامية عالي النقاء لترشيح الغاز عالي النقاء إلى أشباه الموصلات
تعمل أجهزة نشر المعادن المسامية من HENGKO على تنفيس الغرف المفرغة بسرعة إلى الغلاف الجوي مما يقلل من وقت الدورة ويزيد من الإنتاجية.توفر أجهزة النشر المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ لدينا تدفقات غازية صفحية وموحدة دون إزعاج الجزيئات في الغرفة.تعمل هذه الناشرات المعدنية المسامية أيضًا على إزالة الجزيئات التي يزيد حجمها عن 0.1 ميكرومتر من الغاز الوارد، مما يقلل من عيوب الرقاقة.
يمكن للناشرات المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ أن تتحمل ضغوط التشغيل الأعلى وتحافظ على سلامة المنتج - وهو أطول عمر في الصناعة.ومن أجل مقاومة التآكل التي تتفوق على النيكل، استخدم أجهزة توزيع الروائح عالية النقاء من HENGKO.
التطبيقات
تُستخدم أجهزة نشر المعادن المسامية من HENGKO في تطبيقات التهوية في غرف قفل التحميل، وغرف النقل، وغرف التبريد، وغرف المعالجة لواجهات معدات أشباه الموصلات (CVD، وPVD، وEtch، وEpi) أو غرف التفريغ الأخرى
لا يمكنك العثور على المنتج الذي يلبي احتياجاتك؟اتصل بموظفي المبيعات لدينا لخدمات التخصيص OEM/ODM!