مرشحات مانعة للتسرب من النوع C عالية الأداء للتركيب السطحي من نوع IGS لأنظمة توصيل الغاز لأشباه الموصلات
وصف
صُممت مرشحات HENGKO السطحية لتلبية المتطلبات الصارمة لأنظمة الغاز المتكاملة المستخدمة في أدوات تصنيع أشباه الموصلات الأصلية. توفر هذه المرشحات ترشيحًا رائدًا في الصناعة بدقة 0.003 ميكرومتر، مما يضمن أداءً وموثوقيةً استثنائيين مع كفاءة اعتراض جسيمات تبلغ ≥99.9999999% (9-LRV) عند معدل تدفق 120 لترًا قياسيًا في الدقيقة.
صُنعت هذه المرشحات من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المتين بتقنية التلبيد المسحوقي لعنصر الترشيح والهيكل، وهي متوافقة مع مواصفات SEMI F86-0304، وتتميز بمكونات ثنائية المنافذ مصممة خصيصًا لأنظمة توزيع الغاز بقطر 1.125 بوصة مع مانع تسرب من النوع C. وتدعم هذه المرشحات ضغط دخول أقصى يبلغ 3.4 ميجا باسكال عند درجة حرارة 100 درجة مئوية، وفرق ضغط تشغيل أقصى يبلغ 0.69 ميجا باسكال عند درجة حرارة 100 درجة مئوية.
تحقق هذه المرشحات المتخصصة، المتوافقة مع مواصفات مانع التسرب من النوع C والنوع W، نظافةً فائقةً في المراحل اللاحقة مع إطلاق الجسيمات.
بتشطيب سطحي Raأقل من 1.6 ميكرومتر على السطح الخارجي و Raيبلغ حجم الجسيمات الداخلية أقل من 0.13 ميكرومتر، وهي مصممة لتحمل درجات حرارة عالية تصل إلى 460 درجة مئوية. صُممت هذه المرشحات لسهولة التكامل والتحديثات المعيارية، مما يُبسط عملية التركيب والصيانة، ويساعد على تحسين أداء النظام في تطبيقات توصيل الغاز والتحكم فيه في أشباه الموصلات.
ميزات المنتج
▶ هيكل كامل من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L
▶ تصميم مصغر، هيكل مدمج، موفر للمساحة
▶ خصائص ممتازة لاستبدال الغاز وإزالة امتصاصه
▶ مقاومة لدرجات الحرارة العالية والضغط العالي والتآكل
▶ غلاف من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقول كهربائياً
▶ سهولة التركيب والصيانة بكفاءة
▶ مانع تسرب ميكانيكي، غير ملحوم هيكليًا بالوسط
ورقة البيانات
| المعايير الفنية | قيم |
|---|---|
| مادة عنصر الترشيح | مسحوق الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المتلبد |
| مواد بناء التغليف | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L |
| أقصى ضغط مدخل | 3.4 ميجا باسكال عند 100 درجة مئوية |
| أقصى فرق تشغيل | 0.69 ميجا باسكال عند 100 درجة مئوية |
| معدل تسرب التحقق من الهيليوم | 1x10⁻¹¹ سم مكعب/دقيقة |
| معدل تسرب اختبار الهيليوم | 1x10⁻⁹ سم مكعب/دقيقة |
| معالجة السطح | السطح الخارجي Ra< 1.6 ميكرومتر |
| خشونة السطح الداخلي< 0.13 ميكرومتر | |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 460 درجة مئوية |
| كفاءة اعتراض الجسيمات | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 لتر/دقيقة (MPPS المرجعي، جميع الجسيمات) |
| نظافة المصب | إطلاق الجسيمات:أقل من 0.03 جسيم/لتر ((< 1 جسيم/قدم مكعب) |
| المواد المتطايرة:رطوبة أقل من 10 جزء في المليار | |
| حجم اعتراض الجسيمات | ≥0.003 ميكرومتر |
| نطاق التدفق | 0 ~ 120 لتر/دقيقة |
مقاس
إليك رقم القطعة التي يمكنك طلبها وتفاصيل المقاس:
| نموذج المنتج | معدل التدفق | الارتفاع H (مم) | دقة الترشيح | مستوى التنظيف |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 لترات في الدقيقة | 51.6 | 0.003 ميكرومتر | C |
| Z01B-00638 | 40 لتر/دقيقة | 82.9 | 0.003 ميكرومتر | C |
| Z01B-00687 | 80 لتر/دقيقة | 126.2 | 0.003 ميكرومتر | C |
| Z01B-00688 | 120 لتر/دقيقة | 167.9 | 0.003 ميكرومتر | C |
التطبيقات النموذجية
للاستخدام مع أنظمة توصيل الغاز المعيارية المثبتة على السطح من نوع W-seal و C-seal، بقياس 1.125 بوصة و 1.5 بوصة.
أرسل رسالتك إلينا:
